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LED 트랜스퍼 로봇은 2인치부터 8인치까지 핸들링이 가능한 어플리케이션을 보유하고 있다.
CVD, INSPECTION , MARKING등 다양한 공정 및 두께의 웨이퍼 핸들링이 가능하다.
END-EFFECTOR의 경우, 사용하는 환경에 따라 디자인 변경 제공이 가능하며,
TONGUE TYPE, FORK TYPE, GRIP TYPE 등 챔버 및 스테이지의 형태에 따라 OEM 제작 공급하고 있다.
150mm이하, 200mm 이하 핸들링 가능한 3가지 모델이 양산되고 있으며, 공정에 따라 스페셜 스펙 OEM 제작도 지원 가능하다. |
| KR-8110-V1 |
KR-A8100-91E |
KR-A9200-28 |
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