 |
| HOME > PRODUCTS > SEMICONDUCTOR TRANSFER ROBOT > ATM ROBOT |
웨이퍼 트랜스퍼 로봇은 5인치부터 12인치까지 핸들링이 가능한 어플리케이션을 보유하고 있다.
ETCHER, CVD, PHOTO, CMP, DIFFUSION, INSPECTION 등 다양한 공정 및 두께의 웨이퍼 핸들링이 가능하다.
END-EFFECTOR의 경우, 사용하는 환경에 따라 디자인 변경 제공이 가능하며,
TONGUE TYPE, FORK TYPE, EDGE GRIP TYPE 등 공정, 및 챔버 형태, 스테이지의 형태에 따라 OEM 제작 공급하고 있다.
200mm이하, 300mm 이하 핸들링 가능한 어플리케이션을 스탠다드 타입으로, 스페셜 스펙 OEM 제작도 지원 가능하다. |
| KR-A8110 |
KR-A8100-91 |
KR-A9200 |
 |
 |
 |
|
|
|
